Quelle est la procédure de calibration du spectromètre VU90 pour des mesures en photolithographie?
1 réponse
La calibration du spectromètre VU90 est essentielle pour assurer des mesures précises en photolithographie. Voici la procédure recommandée :
- Tout d'abord, assurez-vous que l'appareil est propre et que son environnement est stable.
- Calibrez l'intensité du pixel en utilisant une source de lumière stable et connue. Cette étape permet d'établir une ligne de base pour la réponse du détecteur.
- Effectuez ensuite la calibration en longueur d'onde. Utilisez un étalonnage standard composé de lignes spectrales connues pour ajuster la grille de dispersion.
- Après l'étalonnage en intensité et en longueur d'onde, vérifiez la linéarité du système en mesurant des réponses pour différentes intensités de la source de lumière.
- Enfin, appliquez des corrections de non-linéarité si nécessaire et vérifiez la calibration en mesurant des échantillons de référence.
Il est recommandé de consulter le manuel d'utilisation pour des instructions détaillées et s'assurer que la procédure est effectuée conformément aux spécifications du fabricant HORIBA.
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