Quelle est la procédure de calibration du spectromètre VU90 pour des mesures en photolithographie?
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La calibration du spectromètre VU90 pour des mesures en photolithographie est cruciale pour garantir la précision et la fiabilité des résultats. Voici une procédure type :
- Préparation de l'équipement : Assurez-vous que le spectromètre VU90 est propre et exempt de poussières ou contaminants qui pourraient interférer avec les mesures. Vérifiez que le CCD est correctement refroidi pour réduire le bruit thermique.
- Source de lumière de référence : Utilisez une source de lumière de référence calibrée, telle qu'une lampe de déuterium ou de mercure, qui est compatible avec la gamme de longueurs d'onde du VUV au NIR. Cela aidera à étalonner le spectromètre sur toute sa plage spectrale (115 nm à UV-VIS-NIR).
- Alignement optique : Vérifiez l'alignement optique du spectromètre. Le faisceau de la source de lumière doit passer correctement à travers l'entrée de l'appareil pour assurer un maximum de précision dans les mesures.
- Logiciel de calibration : Utilisez le logiciel fourni avec le VU90 pour réaliser la calibration. Ce logiciel est conçu pour guider l'utilisateur à travers les étapes de calibration spectrale et d'intensité.
- Vérification des résultats : Comparez les résultats obtenus avec les valeurs de référence pour s'assurer que les mesures sont dans les tolérances acceptables. Ajustez si nécessaire.
La calibration régulière de votre spectromètre est essentielle, surtout dans des applications sensibles comme la photolithographie, où la précision spectrale affecte directement la qualité des résultats.
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