Quelle est la procédure de calibration du spectromètre VU90 (Spectromètre) pour des mesures en photolithographie?
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Pour garantir la précision des mesures en photolithographie avec le spectromètre VU90, il est essentiel d'effectuer une calibration rigoureuse. Le VU90, grâce à sa compatibilité avec le spectre VUV-FUV et sa résolution spectrale inférieure à 0,5 nm, est idéal pour ces applications de haute précision.
Commencez par allumer le spectromètre et laissez-le se stabiliser thermiquement pendant environ 30 minutes. Une fois stabilisé, utilisez une source de lumière calibrée, telle qu'une lampe de deutérium, pour la calibration initiale. Dirigez la lumière de la lampe vers l'entrée du spectromètre et ajustez les paramètres pour obtenir un spectre de référence clair. Assurez-vous que la profondeur de refroidissement du CCD est optimale pour réduire le bruit de fond.
En réglant le spectromètre sur la gamme de longueurs d'onde spécifique requise pour la photolithographie, vérifiez la réponse spectrale à plusieurs longueurs d'onde clés. Utilisez des filtres calibrés pour tester l'efficacité de la réduction de la lumière parasite. Pour finir, effectuez une calibration d'intensité relative en utilisant un standard de référence certifié.
En procédant ainsi, vous optimiserez les performances du VU90 pour des mesures précises et fiables dans l'industrie de la photolithographie. Le VU90 Spectrometer, avec sa portabilité inégalée, est une solution de choix pour les professionnels de la photolithographie qui exigent précision et efficacité.
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